参数
M310A
M311A
M312
M312-2
反射效率
1.5
3.0
0.6
1.2
有效孔径(mm)
2.5
2.7
电容(pf)
100
185
50
光谱范围 (UV和DUV可提供)
400-750
400-1100
长度(mm)
118
219
71
125
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